Le transistor MOS (Metal Oxyde Semiconductor) à appauvrissement est un transistor à effet de champ. Il est constitué d’un canal de semi-conducteur dopé et d’une grille se superposant exactement au canal. Cette grille est isolée du canal par une fine couche d’oxyde de silicium (SiO2). Une électrode est connectée à chaque extrémité du canal. Une troisième électrode est connectée à la grille. Le substrat qui sert de support physique à l’élément est connecté à une quatrième électrode. Cette électrode est le plus souvent reliée à l’électrode de source. Comme pour les JFET, deux structures sont possibles : les MOS à appauvrissement à canal n et à canal p.